第35章 能看到光吗？(1/3)

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　　这话一出，魏天华直接呆愣在原地。

　　纳米正是EUV光刻机的核心参数，可严正行说不需要反射镜组？

　　要知道现在的EUV光刻机为了规避镜片吸收问题，光是高精度反射镜就用了11片。

　　每一片的制造难度都堪比艺术品，全球能生产的厂家不超过三家。

　　陈进一的眼睛里写满难以置信。

　　他也曾接触过顶尖光刻机研发，太清楚这个技术方向的颠覆性。

　　如果真能实现，等于绕开了EUV最卡脖子的供应链环节。

　　“这怎么可能？就算波长达标，能量密度、稳定性、持续工作时长……这些都是拦路虎啊！”

　　“我们试过用激光倍频技术逼近这个区间，结果设备开机半小时就因为过热报废了。”

　　望着对方难以置信的样子，严正行依旧是老样子：

　　“我可以保证，这种全新光源的转化效率将超过30%！

　　“30%？！”

　　陈进一猛地站起身，结果膝盖一不小心撞到桌上，疼得他龇牙咧嘴，但还是咬着牙道：

　　“这不可能！光源转化效率每提升1%都是天堑，您说的是理论值还是？”

　　要知道现在ASML的EUV光源转化效率还不到5%。

　　这意味着什么？

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