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这地方……似乎不像他们预想的那样不堪?
随后,魏天华将他们带到了一间宽敞的机房。
机房内灯光柔和,几台看起来在ASML眼中有些老旧的光刻机原型机正在调试状态。
几名海微的工程师围在控制台前,眉头紧锁,似乎遇到了难题。
“穆勒博士,各位专家。”
魏天华指着其中一台设备,脸上带着恰到好处的困扰:
“实不相瞒,这就是我们目前遇到的最大瓶颈之一。
在尝试将制程推向更先进节点时,光源的稳定性始终无法达到要求。
尤其是长时间高功率运行下的热漂移和波长抖动问题,严重影响了套刻精度。
我们尝试了多种方法,效果都不理想。
今天能请到诸位世界顶尖的专家莅临指导,真是解了我们的燃眉之急啊!”
汉斯看着那几台在他眼里技术落后的机器,又看看魏天华和周围海微工程师脸上那“虚心求教”的表情。
心中那份被压抑了一路的憋闷和重新燃起的优越感,终于找到了宣泄口!
“稳定性?”
汉斯嗤笑一声,走上前去,毫不客气地指着控制屏幕上跳动的数据:
“你们自己看看这些参数波动!
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